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2016年11月9日,浙江潔美電子科技股份有限公司訂購了我公司在線納米級光學膜厚儀一台。
浙江潔美電子科技股份有限公司是一家專業為片式電子元器件(包括被動元件、分立器件、集成電路及LED)配套生產電子薄型載帶、上下膠帶、轉移膠帶(離型膜)等產品的企業,主要產品有分切紙帶、打孔紙帶、不打穿孔紙帶、上下膠帶、塑料載帶及其配套蓋帶、塑料卷盤、轉移膠帶(離型膜)等,實現配套供應,是業內可為客戶提供薄型載帶整體解決方案的集成供應商。
PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀利用光譜相幹測量學,用於測量半導體製造過程中的薄膜厚度,以及安裝在半導體製造設備上的APC和薄膜的質量控製,能夠測量單層/多層/塗布層在不透光基板上的厚度,精準度可達納米級。
PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀,其核心部件主要源自於美國Ocean Optics有限公司,其微型光譜儀體積小巧,可對全譜進行快速采集,產品應用廣泛,可用於生化、光電、航空航天、環境保護、安全檢測、農業等行業,可進行 Low-E 玻璃鍍膜檢測,ITO 玻璃鍍膜檢測,PET 塗布在線膜厚檢測,金屬表面塗層檢測,半導體,LCD 膜厚檢測等。
PSD-2000型技術參數:
型號PSD-2000
可測膜厚範圍15 nm - 100 um 2nm - 200 um 200nm-3000um
測量可重複性0.02 μm
測量準確±1%
光源鎢鹵素燈
測量波長380 - 1050 nm250 - 1050 nm900 - 1200 nm
光斑尺寸約φ1 mm
工作距離10 mm
可測層數最多10層
分析FFT 分析,擬合分析
測量時間19 ms/點
外部控製功能Ethernet
接口USB 2.0(主單元與電腦接口);RS-232C(光源與電腦接口)
電源AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗約330W(2通道)~450W(15通道)