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江蘇麗島訂購了納米級光學幹涉檢測系統

作者:sparseite.com,u96586.dzg168.com 瀏覽: 發表時間:2017-04-21 11:25:58

  江蘇麗島訂購了納米級光學幹涉檢測系統

  2017年4月19日,江蘇麗島新材料股份有限公司訂購了納米級光學幹涉檢測系統。

    江蘇麗島新材料股份有限公司產品使用範圍極廣:建築方面(屋面材料,牆體材料、鋁塑板、鋁蜂窩板、防火貼面板、鋁天花、百葉窗、卷簾門、車庫門)、電子電器(電腦機箱、電器面板)、燈飾、傢俱、箱包、罐蓋料等。

     PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀利用光譜相幹測量學,用於測量半導體製造過程中的薄膜厚度,以及安裝在半導體製造設備上的APC和薄膜的質量控製,能夠測量單層/多層/塗布層在不透光基板上的厚度,精準度可達納米級。   

PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀,其核心部件主要源自於美國Ocean Optics有限公司,其微型光譜儀體積小巧,可對全譜進行快速采集,產品應用廣泛,可用於生化、光電、航空航天、環境保護、安全檢測、農業等行業,可進行 Low-E 玻璃鍍膜檢測,ITO 玻璃鍍膜檢測,PET 塗布在線膜厚檢測,金屬表面塗層檢測,半導體,LCD 膜厚檢測等。

PSD-2000型技術參數:

型號 PSD-2000

可測膜厚範圍 15 nm - 100 um 2nm - 200 um 200nm-3000um

測量可重複性 0.02 μm

測量準確 ±1%

光源 鎢鹵素燈

測量波長 380 - 1050 nm 250 - 1050 nm 900 - 1200 nm

光斑尺寸 φ1 mm

工作距離 10 mm

可測層數 最多10層

分析 FFT 分析,擬合分析

測量時間 19 ms/點

外部控製功能 Ethernet

接口 USB 2.0(主單元與電腦接口);RS-232C(光源與電腦接口)

電源 AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz

功耗 330W(2通道)~450W(15通道)


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