潔美光電訂購了納米級光學幹涉檢測系統
201八年介绍3日,福建潔美光電科技创新现有工司訂購了納米級光學幹涉檢測系統。
湖南潔美電子网络股是有限的集团公司也是家專業為片式電子元模块化电路芯片(属于被動组件、分立模块化电路芯片、模块化電路及LED)配套生產電子薄型載帶、上下膠帶、轉移膠帶(離型膜)等產品的企業,主要產品有分切紙帶、打孔紙帶、不打穿孔紙帶、上下膠帶、塑料載帶及其配套蓋帶、塑料卷盤、轉移膠帶(離型膜)等,實現配套供應,是業內可為客戶提供薄型載帶整體解決方案的集成供應商。
PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀应用光譜相幹測量學,用於測量半導體製造過程中的透气膜重量,或安裝在半導體製造設備上的APC和透气膜的質量控製,能夠測量單層/多層/塗布層不透光基材上的重量,精準度可達納米級。
PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀,其关键关键部件首要出自於美國Ocean Optics不足新公司,其小形光譜儀體積轻便,可對全譜進行怏速抓取,產品應用廣泛,可以使用於生化模式、光電、航班航天部、環境保護、防护檢測、農業等行業,可進行 Low-E 窗玻璃窗鍍膜檢測,ITO 窗玻璃窗鍍膜檢測,PET 塗布在線膜厚檢測,金屬的表面塗層檢測,半導體,LCD 膜厚檢測等。
PSD-2000型技術參數:
型號 PSD-2000
可測膜厚範圍 15 nm - 100 um 2nm - 200 um 200nm-3000um
測量可重複性 0.02 μm
測量準確 ±1%
照明 鎢鹵素燈
測量波長 380 - 1050 nm 250 - 1050 nm 900 - 1200 nm
亮斑规格尺寸 約φ1 mm
作业距離 10 mm
可測層數 最高10層
研究分析 FFT 数据阐述,擬合数据阐述
測量時間 19 ms/點
外部结构控製系统 Ethernet
接口类型 USB 2.0(主單元與電腦usbusb接口);RS-232C(点光源與電腦usbusb接口)
電源 AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz
功能损耗 約330W(2通道)~450W(15通道)