 
201七年6月14日江西潔美電子社会持股比较有限集团重复向我集团訂購了納米級光學幹涉檢測系統!
浙江潔美電子科技股份有限公司是一家專業為片式電子元器件配套生產電子薄型載帶、上下膠帶等的模块化供應商。
納米級光學幹涉檢測系統
PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀利用率光譜相幹測量學,用於測量半導體製造過程中的复合膜强度,相应安裝在半導體製造設備上的APC和复合膜的質量控製,能夠測量單層/多層/塗布層已不透光基材上的强度,精準度可達納米級。
PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀,其层面部位重点起源于於美國Ocean Optics限制工厂,其微光譜儀體積精巧,可對全譜進行快速的数据采集,產品應用廣泛,该用於血生化、光電、航空航空、環境保護、安全防护檢測、農業等行業,可進行 Low-E 波璃鍍膜檢測,ITO 波璃鍍膜檢測,PET 塗布在線膜厚檢測,金屬面上塗層檢測,半導體,LCD 膜厚檢測等。
PSD-2000型技術參數:
型號 PSD-2000
可測膜厚範圍 15 nm - 100 um 2nm - 200 um 200nm-3000um
測量可重複性 0.02 μm
測量準確 ±1%
光线 鎢鹵素燈
測量波長 380 - 1050 nm 250 - 1050 nm 900 - 1200 nm
黑斑尺寸图 約φ1 mm
工作上距離 10 mm
可測層數 更多10層
讲解 FFT 分享,擬合分享
測量時間 19 ms/點
内部控製工作 Ethernet
电源接口 USB 2.0(主單元與電腦主板接口类型);RS-232C(面光源與電腦主板接口类型)
電源 AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz
输出功率 約330W(2检修工作区)~450W(15检修工作区)