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2018年6月14日浙江潔美電子科技股份有限公司再次向我公司訂購了納米級光學幹涉檢測系統！

浙江潔美電子科技股份有限公司是一家專業為片式電子元器件配套生產電子薄型載帶、上下膠帶等的集成供應商。

                                                                納米級光學幹涉檢測系統

PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀利用光譜相幹測量學，用於測量半導體製造過程中的薄膜厚度，以及安裝在半導體製造設備上的APC和薄膜的質量控製，能夠測量單層/多層/塗布層在不透光基板上的厚度，精準度可達納米級。   

PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀，其核心部件主要源自於美國Ocean Optics有限公司，其微型光譜儀體積小巧，可對全譜進行快速采集，產品應用廣泛，可用於生化、光電、航空航天、環境保護、安全檢測、農業等行業，可進行 Low-E 玻璃鍍膜檢測，ITO 玻璃鍍膜檢測，PET 塗布在線膜厚檢測，金屬表面塗層檢測，半導體，LCD 膜厚檢測等。

PSD-2000型技術參數：

型號 PSD-2000

可測膜厚範圍 15 nm - 100 um 2nm - 200 um 200nm-3000um

測量可重複性 0.02 μm

測量準確 ±1%

光源 鎢鹵素燈

測量波長 380 - 1050 nm 250 - 1050 nm 900 - 1200 nm

光斑尺寸 約φ1 mm

工作距離 10 mm

可測層數 最多10層

分析 FFT 分析，擬合分析

測量時間 19 ms/點

外部控製功能 Ethernet

接口 USB 2.0（主單元與電腦接口）；RS-232C（光源與電腦接口）

電源 AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz

    功耗 約330W（2通道）~450W（15通道）