[{"title":"產品詳情","content":"
納米級光學幹涉測厚儀
應用: PET、PE、PMMA等保护膜·離型膜·沉積膜·金屬表面上电镀件塗層·膜塗層·材料塗層
產品簡介:
PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀进行光譜相幹測量學,用於測量半導體製造過程中的聚酰亚胺膜尺寸,和安裝在半導體製造設備上的APC和聚酰亚胺膜的質量控製,能夠測量單層/多層/塗布層不在透光基材上的尺寸,精準度可達納米級。
PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀,其管理的本质零部件具体出于於美國Ocean Optics比较有限总部,其微信光譜儀體積小而,可對全譜進行更快采摘,產品應用廣泛,可作於什么是生化、光電、航空公司航空工业、環境保護、可靠檢測、農業等行業,可進行 Low-E的钢化玻璃鍍膜檢測,ITO的钢化玻璃鍍膜檢測,PET塗布在線膜厚檢測,金屬面上塗層檢測,半導體,LCD膜厚檢測等。
工做机理: 分光幹涉法
當光入射进樣品內部,會發生多方面全全反射面現象,多方面全全反射面光會由於间接之間的相位差增強或減弱,而相位差取決於樣品的映射率和光程,因而來自於樣本的全全反射面光譜與其厚薄有就直接關系。光譜幹涉法就是说根据這種獨特的光譜概述出樣品的厚薄,該厚薄測量儀器根據測試範圍的各不相同最主要采用曲線擬合和FFT兩種方法對光譜進行分析。
應用範圍:
•PET塑料薄膜规格測量
•塗層料厚測量,如HC,保護膜,光刻膠,OCA,離型膜等塗布料厚或克重的測量
•用於包装的PET的表面介質膜克重或膜厚測量
•金屬从表面透明化色和半透明化色漆层塗層
產品優勢:
在線掃描式或多點測量(多達15點)同時測量
通過光強波動标定模块實現長時間穩定測量
消息提醒及警報能力(通過或失敗)
全反射(透射)和光譜測量
搜集測量多層厚薄
速度、高準確度
參數:
型號 | PSD-2000W | PSD-2000P | PSD-2000R |
可測膜厚範圍 | 15 nm - 100 um | 2nm - 200 um | 200nm-3000um |
測量可重複性 | 0.02 μm |
測量準確 | ±1% |
黑与白 | 鎢鹵素燈 |
測量波長 | 380 - 1050 nm | 250 - 1050 nm | 900 - 1200 nm |
黑斑外形尺寸 | 約φ1 mm |
工作的距離 | 10 mm |
可測層數 | 很多10層 |
定量分析 | FFT 阐述一下,擬合阐述一下 |
測量時間 | 19 ms/點 |
间接控製的功能 | Ethernet |
标准接口 | USB 2.0(主單元與電腦音频插口);RS-232C(的光源與電腦音频插口) |
電源 | AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz |
显卡功耗 | 約330W(2安全入口通道)~450W(15安全入口通道) |
PSD-200實驗室型納米級光學幹涉測厚儀
借款用途:
·太陽能減反膜波璃,TCO波璃,Low-E波璃,ITO波璃,光學波璃鍍膜等測量。
·PET膜乳白色膠膜厚測量
·膜厚,顏色,粗糙,度,透過率,全反射率,霧度
·能用於實驗室離線測量
技術标准:
·误差0.1%,達到國際同類產品情况
·檢測透亮的和半透亮的塗層
·散射式太陽能波璃的膜厚/折射角率測量儀,都具有測量速率快,測量準確,运作簡便的特點。
技術參數:
產品類型 | 可見光 | 分光光度计+可見光 |
薄厚測量 | 15nm-100μm | 1nm-100μm |
反射率 | 层厚特殊要求100nm以上的 | 尺寸标准要求50nm这些 |
準確性 | 2nm或0.5% |
高精度 | 0.1nm |
測量時間 | 小於1秒 |
亮斑大小不一 | 大約1mm |
軟件:
·實時顯示反射强度率,透光率,膜厚(多層膜),顏色值和反射率;同時包括模型仿真功能键
·不支持多的角度各種入射條件下的模拟和擬合
·在線/離線監控和曆史數據画质
·輸出至SQL服務器;中型內置式SQL
·可根據客戶条件定製游戏界面
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