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光學幹涉測厚系統
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光學幹涉測厚系統
光學幹涉測厚系統
詳情
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納米級光學幹涉測厚儀

應用: PET、PE、PMMA等保护膜·離型膜·沉積膜·金屬表面上电镀件塗層·膜塗層·材料塗層

產品簡介

PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀进行光譜相幹測量學,用於測量半導體製造過程中的聚酰亚胺膜尺寸,和安裝在半導體製造設備上的APC和聚酰亚胺膜的質量控製,能夠測量單層/多層/塗布層不在透光基材上的尺寸,精準度可達納米級。   

PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀,其管理的本质零部件具体出于於美國Ocean Optics比较有限总部,其微信光譜儀體積小而,可對全譜進行更快采摘,產品應用廣泛,可作於什么是生化、光電、航空公司航空工业、環境保護、可靠檢測、農業等行業,可進行 Low-E的钢化玻璃鍍膜檢測,ITO的钢化玻璃鍍膜檢測,PET塗布在線膜厚檢測,金屬面上塗層檢測,半導體,LCD膜厚檢測等。

             

工做机理: 分光幹涉法

當光入射进樣品內部,會發生多方面全全反射面現象,多方面全全反射面光會由於间接之間的相位差增強或減弱,而相位差取決於樣品的映射率和光程,因而來自於樣本的全全反射面光譜與其厚薄有就直接關系。光譜幹涉法就是说根据這種獨特的光譜概述出樣品的厚薄,該厚薄測量儀器根據測試範圍的各不相同最主要采用曲線擬合和FFT兩種方法對光譜進行分析。

 

         

 

應用範圍:

 

•PET塑料薄膜规格測量

•塗層料厚測量,如HC,保護膜,光刻膠,OCA,離型膜等塗布料厚或克重的測量

•用於包装的PET的表面介質膜克重或膜厚測量

•金屬从表面透明化色和半透明化色漆层塗層

 

產品優勢:

在線掃描式或多點測量(多達15點)同時測量

通過光強波動标定模块實現長時間穩定測量

消息提醒及警報能力(通過或失敗)

全反射(透射)和光譜測量

搜集測量多層厚薄

速度、高準確度

 

 

參數:

型號

PSD-2000W

PSD-2000P

PSD-2000R

可測膜厚範圍

15 nm - 100 um

2nm - 200 um

200nm-3000um

測量可重複性

0.02 μm

測量準確

±1%

黑与白

鎢鹵素燈

測量波長

380 - 1050 nm

250 - 1050 nm

900 - 1200 nm

黑斑外形尺寸

約φ1 mm

工作的距離

10 mm

可測層數

很多10層

定量分析

FFT 阐述一下,擬合阐述一下

測量時間

19 ms/點

间接控製的功能

Ethernet

标准接口

USB 2.0(主單元與電腦音频插口);RS-232C(的光源與電腦音频插口)

電源

AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz

显卡功耗

約330W(2安全入口通道)~450W(15安全入口通道)

 

 

PSD-200實驗室型納米級光學幹涉測厚儀    

借款用途:

·太陽能減反膜波璃,TCO波璃,Low-E波璃,ITO波璃,光學波璃鍍膜等測量。

·PET膜乳白色膠膜厚測量

·膜厚,顏色,粗糙,度,透過率,全反射率,霧度

·能用於實驗室離線測量

技術标准:

·误差0.1%,達到國際同類產品情况

·檢測透亮的和半透亮的塗層

·散射式太陽能波璃的膜厚/折射角率測量儀,都具有測量速率快,測量準確,运作簡便的特點。

 

 

 

技術參數:

產品類型

可見光

分光光度计+可見光

薄厚測量

15nm-100μm

1nm-100μm

反射率

层厚特殊要求100nm以上的

尺寸标准要求50nm这些

準確性

2nm或0.5%

高精度

0.1nm

測量時間

小於1秒

亮斑大小不一

大約1mm

 

 

軟件:


·實時顯示反射强度率,透光率,膜厚(多層膜),顏色值和反射率;同時包括模型仿真功能键

·不支持多的角度各種入射條件下的模拟和擬合

·在線/離線監控和曆史數據画质

·輸出至SQL服務器;中型內置式SQL

·可根據客戶条件定製游戏界面

 

 


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