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光學幹涉克重檢測系統
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光學幹涉克重檢測系統
光學幹涉克重檢測系統
詳情

納米級光學幹涉板厚为(克重)儀

應用: PET、PE、PMMA等溥膜·離型膜·沉積膜·金屬表面层漆层塗層·膜塗層·可塑料塗層

產品簡介

PSD-2000型在線納米級光學幹涉强度(克重)儀采用光譜相幹測量學,用於測量半導體製造過程中的pet膜强度,及安裝在半導體製造設備上的APC和pet膜的質量控製,能夠測量單層/多層/塗布層在没透光柔性板上的强度(克重),精準度可達納米級。   

PSD-2000型在線納米級光學幹涉高度(克重)儀,其核心部件主要源自於美國Ocean Optics有限公司,其微型光譜儀體積小巧,可對全譜進行快速采集,產品應用廣泛,可用於生化、光電、航空航天、環境保護、安全檢測、農業等行業,可進行 Low-E玻璃鍍膜檢測,ITO玻璃鍍膜檢測,PET塗布在線膜厚檢測,金屬表面塗層檢測,半導體,LCD膜厚檢測等。

             

办公道理: 分光幹涉法

當光入射进樣品內部,會發生众多漫折射强度現象,众多漫折射强度光會由於上下级之間的相位差增強或減弱,而相位差取決於樣品的折射率率和光程,因为來自於樣本的漫折射强度光譜與其层厚有会關系。光譜幹涉法只是合理利用這種獨特的光譜进行分析出樣品的层厚,該层厚測量儀器根據測試範圍的与众不同注意用曲線擬合和FFT兩種方法對光譜進行分析。

 


應用範圍:

 

•PET聚酰亚胺膜厚薄測量

•塗層板厚为測量,如HC,保護膜,光刻膠,OCA,離型膜等塗布板厚为或克重的測量

•用於塑膠的PET外面介質膜克重或膜厚測量

•金屬漆层透明图片图片和半透明图片图片电镀件塗層

 

產品優勢:

在線掃描式或多點測量(多達15點)同時測量

通過光強波動调整功能性實現長時間穩定測量

短信提醒及警報功效(通過或失敗)

折射(透射)和光譜測量

发送到測量多層板厚为

飞速、高準確度

 

 

參數:

型號

PSD-2000W

PSD-2000P

PSD-2000R

可測膜厚範圍

15 nm - 100 um

2nm - 200 um

200nm-3000um

測量可重複性

0.02 μm

測量準確

±1%

黑与白

鎢鹵素燈

測量波長

380 - 1050 nm

250 - 1050 nm

900 - 1200 nm

光点尽寸

約φ1 mm

工作任务距離

10 mm

可測層數

最高10層

了解

FFT 阐述,擬合阐述

測量時間

19 ms/點

外接控製实用功能

Ethernet

接口协议

USB 2.0(主單元與電腦电源插口);RS-232C(照明與電腦电源插口)

電源

AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz

功能损耗

約330W(2绿色缓冲区)~450W(15绿色缓冲区)

 

PSD-200實驗室型納米級光學幹涉測厚儀    

适用范围:

·太陽能減反膜的钢化玻离,TCO的钢化玻离,Low-E的钢化玻离,ITO的钢化玻离,光學的钢化玻离鍍膜等測量。

·PET膜半透明膠膜厚測量

·膜厚,顏色,粗糙,度,透過率,散射率,霧度

·需用於實驗室離線測量

技術标准:

·精准度0.1%,達到國際同類產品横向

·檢測透明体度和半透明体度塗層

·反射性式太陽能磨砂玻璃的膜厚/光折射率測量儀,享有測量极限最慢,測量準確,使用簡便的特點。

  

技術參數:

產品類型

可見光

UV紫外线+可見光

板厚測量

15nm-100μm

1nm-100μm

折射角率

板厚规定要求100nm上

钢板厚度特殊要求50nm这

準確性

2nm或0.5%

精确度

0.1nm

測量時間

小於1秒

黑斑大小不一

大約1mm

 

軟件:


·實時顯示漫反射率,透光率,膜厚(多層膜),顏色值和光折射率;同時具有着逼真系统

·大力支持多层面各種入射條件下的模型制作和擬合

·在線/離線監控和曆史數據工具栏

·輸出至SQL服務器;小形內置式SQL

·可根據客戶标准定製对话框




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