納米級光學幹涉板厚为(克重)儀
應用: PET、PE、PMMA等溥膜·離型膜·沉積膜·金屬表面层漆层塗層·膜塗層·可塑料塗層
產品簡介:
PSD-2000型在線納米級光學幹涉强度(克重)儀采用光譜相幹測量學,用於測量半導體製造過程中的pet膜强度,及安裝在半導體製造設備上的APC和pet膜的質量控製,能夠測量單層/多層/塗布層在没透光柔性板上的强度(克重),精準度可達納米級。
PSD-2000型在線納米級光學幹涉高度(克重)儀,其核心部件主要源自於美國Ocean Optics有限公司,其微型光譜儀體積小巧,可對全譜進行快速采集,產品應用廣泛,可用於生化、光電、航空航天、環境保護、安全檢測、農業等行業,可進行 Low-E玻璃鍍膜檢測,ITO玻璃鍍膜檢測,PET塗布在線膜厚檢測,金屬表面塗層檢測,半導體,LCD膜厚檢測等。
办公道理: 分光幹涉法
當光入射进樣品內部,會發生众多漫折射强度現象,众多漫折射强度光會由於上下级之間的相位差增強或減弱,而相位差取決於樣品的折射率率和光程,因为來自於樣本的漫折射强度光譜與其层厚有会關系。光譜幹涉法只是合理利用這種獨特的光譜进行分析出樣品的层厚,該层厚測量儀器根據測試範圍的与众不同注意用曲線擬合和FFT兩種方法對光譜進行分析。
應用範圍:
•PET聚酰亚胺膜厚薄測量
•塗層板厚为測量,如HC,保護膜,光刻膠,OCA,離型膜等塗布板厚为或克重的測量
•用於塑膠的PET外面介質膜克重或膜厚測量
•金屬漆层透明图片图片和半透明图片图片电镀件塗層
產品優勢:
在線掃描式或多點測量(多達15點)同時測量
通過光強波動调整功能性實現長時間穩定測量
短信提醒及警報功效(通過或失敗)
折射(透射)和光譜測量
发送到測量多層板厚为
飞速、高準確度
參數:
型號 | PSD-2000W | PSD-2000P | PSD-2000R |
可測膜厚範圍 | 15 nm - 100 um | 2nm - 200 um | 200nm-3000um |
測量可重複性 | 0.02 μm |
測量準確 | ±1% |
黑与白 | 鎢鹵素燈 |
測量波長 | 380 - 1050 nm | 250 - 1050 nm | 900 - 1200 nm |
光点尽寸 | 約φ1 mm |
工作任务距離 | 10 mm |
可測層數 | 最高10層 |
了解 | FFT 阐述,擬合阐述 |
測量時間 | 19 ms/點 |
外接控製实用功能 | Ethernet |
接口协议 | USB 2.0(主單元與電腦电源插口);RS-232C(照明與電腦电源插口) |
電源 | AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz |
功能损耗 | 約330W(2绿色缓冲区)~450W(15绿色缓冲区) |
PSD-200實驗室型納米級光學幹涉測厚儀
适用范围:
·太陽能減反膜的钢化玻离,TCO的钢化玻离,Low-E的钢化玻离,ITO的钢化玻离,光學的钢化玻离鍍膜等測量。
·PET膜半透明膠膜厚測量
·膜厚,顏色,粗糙,度,透過率,散射率,霧度
·需用於實驗室離線測量
技術标准:
·精准度0.1%,達到國際同類產品横向
·檢測透明体度和半透明体度塗層
·反射性式太陽能磨砂玻璃的膜厚/光折射率測量儀,享有測量极限最慢,測量準確,使用簡便的特點。
技術參數:
產品類型 | 可見光 | UV紫外线+可見光 |
板厚測量 | 15nm-100μm | 1nm-100μm |
折射角率 | 板厚规定要求100nm上 | 钢板厚度特殊要求50nm这 |
準確性 | 2nm或0.5% |
精确度 | 0.1nm |
測量時間 | 小於1秒 |
黑斑大小不一 | 大約1mm |
軟件:
·實時顯示漫反射率,透光率,膜厚(多層膜),顏色值和光折射率;同時具有着逼真系统
·大力支持多层面各種入射條件下的模型制作和擬合
·在線/離線監控和曆史數據工具栏
·輸出至SQL服務器;小形內置式SQL
·可根據客戶标准定製对话框