納米級光學幹涉厚度（克重）儀
應用： PET、PE、PMMA等薄膜·離型膜·沉積膜·金屬表面漆膜塗層·膜塗層·塑料塗層
產品簡介：
PSD-2000型在線納米級光學幹涉厚度（克重）儀利用光譜相幹測量學，用於測量半導體製造過程中的薄膜厚度，以及安裝在半導體製造設備上的APC和薄膜的質量控製，能夠測量單層/多層/塗布層在不透光基板上的厚度（克重），精準度可達納米級。
PSD-2000型在線納米級光學幹涉厚度（克重）儀，其核心部件主要源自於美國Ocean Optics有限公司，其微型光譜儀體積小巧，可對全譜進行快速采集，產品應用廣泛，可用於生化、光電、航空航天、環境保護、安全檢測、農業等行業，可進行 Low-E玻璃鍍膜檢測，ITO玻璃鍍膜檢測，PET塗布在線膜厚檢測，金屬表面塗層檢測，半導體，LCD膜厚檢測等。
;
工作原理： 分光幹涉法
當光入射到樣品內部，會發生多重反射現象，多重反射光會由於相互之間的相位差增強或減弱，而相位差取決於樣品的折射率和光程，因此來自於樣本的反射光譜與其厚度有直接關系。光譜幹涉法就是利用這種獨特的光譜分析出樣品的厚度，該厚度測量儀器根據測試範圍的不同主要使用曲線擬合和FFT兩種方法對光譜進行分析。
應用範圍：
•PET薄膜厚度測量
•塗層厚度測量，如HC，保護膜，光刻膠，OCA，離型膜等塗布厚度或克重的測量
•用於包裝的PET表面介質膜克重或膜厚測量
•金屬表面透明和半透明漆膜塗層
產品優勢：
在線掃描式或多點測量（多達15點）同時測量
通過光強波動校正功能實現長時間穩定測量
提醒及警報功能(通過或失敗)
反射(透射)和光譜測量
同步測量多層厚度
高速、高準確度
參數：
型號 | PSD-2000W | PSD-2000P | PSD-2000R |
可測膜厚範圍 | 15 nm - 100 um | 2nm - 200 um | 200nm-3000um |
測量可重複性 | 0.02 μm |
測量準確 | ±1% |
光源 | 鎢鹵素燈 |
測量波長 | 380 - 1050 nm | 250 - 1050 nm | 900 - 1200 nm |
光斑尺寸 | 約φ1 mm |
工作距離 | 10 mm |
可測層數 | 最多10層 |
分析 | FFT 分析，擬合分析 |
測量時間 | 19 ms/點 |
外部控製功能 | Ethernet |
接口 | USB 2.0（主單元與電腦接口）；RS-232C（光源與電腦接口） |
電源 | AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz |
功耗 | 約330W（2通道）~450W（15通道） |
PSD-200實驗室型納米級光學幹涉測厚儀
用途：
·太陽能減反膜玻璃，TCO玻璃，Low-E玻璃，ITO玻璃，光學玻璃鍍膜等測量。
·PET膜透明膠膜厚測量
·膜厚，顏色，粗糙度，透過率，反射率，霧度
·可用於實驗室離線測量
技術水平：
·精度0.1%，達到國際同類產品水平
·檢測透明和半透明塗層
·反射式太陽能玻璃的膜厚/折射率測量儀，具有測量速度快，測量準確，操作簡便的特點。
技術參數：
產品類型 | 可見光 | 紫外+可見光 |
厚度測量 | 15nm-100μm | 1nm-100μm |
折射率 | 厚度要求100nm以上 | 厚度要求50nm以上 |
準確性 | 2nm或0.5% |
精度 | 0.1nm |
測量時間 | 小於1秒 |
光斑大小 | 大約1mm |
軟件：
·實時顯示反射率，透光率，膜厚（多層膜），顏色值和折射率；同時具有仿真功能
·支持多角度各種入射條件下的仿真和擬合
·在線/離線監控和曆史數據界面
·輸出至SQL服務器；小型內置式SQL
·可根據客戶要求定製界面
